芯东西（公众号：aichip001）

作者 | ZeR0

编辑 | 漠影

芯东西2月13日报道，2月12日，证监会官网披露，北京半导体设备企业华卓精科在北京证监局办理上市辅导备案登记，启动A股IPO进程，辅导机构是招商证券。

华卓精科成立于2012年5月，注册资本为2.75亿元，法定代表人是董事长、总经理孙国华，控股股东、实际控制人是首席科学家朱煜。

朱煜直接持股37.81%，通过直接持股、间接持股和一致行动协议控制公司51.89%的表决权。

华卓精科于2015年12月在新三板挂牌，2019年2月终止挂牌，曾于2020年6月申报科创板IPO并获受理，2021年通过上市委审议，后基于整体市场环境及自身资本运作发展规划，在2024年6月主动撤回IPO申请。

该公司的主营业务是以超精密测控技术为基础，研究、开发及生产超精密测控设备部件、超精密测控设备整机并提供相关技术开发服务。

其高端设备类产品包括混合键合设备、IGBT激光退火设备、EFEM/SORTER，超精密运动产品包括单轴系列、多轴线轨系列、多轴气浮系列、大尺面气浮系列，隔振产品包括被动、主动隔振产品。

根据2021年9月的华卓精科科创板上会稿，截至该招股书签署日，包括首席科学家朱煜在内的华卓精科多位核心技术人员、技术顾问亦在清华大学任职。

其中，身为华卓精科创始团队负责人的朱煜，是清华大学的长聘教授、博士生导师，曾在2016年至2019年任北方华创科技集团股份有限公司独立董事，2012年至2015年任华卓有限董事长兼总经理，2015年8月至9月任华卓精科董事长，2015年9月至今任华卓精科董事、首席科学家，2018年4月至2019年5月任杭州天睿执行董事。

2018年、2019年、2020年，华卓精科营收分别为8570.92万元、1.21亿元、1.52亿元，净利润分别为1512.36万元、2087.24万元、1242.83万元，研发费用分别为1374.99万元、1741.59万元、2137.09万元。

2025年11月，华卓精科宣布其第100台激光退火装备完成检测、包装，正式发往客户现场，标志着该公司激光退火装备迈入新的规模化应用阶段。