欧双光电申请晶圆片加工固定装置和激光切割装置专利，避免局部吸附力过大导致晶圆片破损_电子应用

欧双光电申请晶圆片加工固定装置和激光切割装置专利，避免局部吸附力过大导致晶圆片破损

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2026-02-27 12:41:49

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国家知识产权局信息显示，河北欧双光电激光智能装备有限公司申请一项名为“一种晶圆片加工固定装置和激光切割装置”的专利，公开号CN121571860A，申请日期为2025年12月。

专利摘要显示，本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种晶圆片加工固定装置和激光切割装置。包括加工台，加工台设置有移动座，移动座设置有基座，基座滑动连接有放置台，加工台上固接有柔性吸附壳，柔性吸附壳设置有承载机构，放置台设置有定位机构，承载机构包括：密封外唇边，柔性吸附壳固接有密封中唇边和密封内唇边，基座内设置有真空泵，柔性吸附壳固接有气压检测仪，激光切割组件设置于加工台。本发明通过柔性吸附壳搭配多层密封唇边，对晶圆片实现分层吸附，且吸附力均匀可控，既能固定晶圆片，又避免局部吸附力过大导致晶圆片破损，柔性吸附壳可适配晶圆片的微小形变，进一步降低晶圆片因吸附力不均而损坏的风险。

天眼查资料显示，河北欧双光电激光智能装备有限公司，成立于2025年，位于石家庄市，是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本300万人民币。通过天眼查大数据分析，河北欧双光电激光智能装备有限公司参与招投标项目2次。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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