北方华创申请进气组件、上电极装置和半导体工艺设备专利，解决进气组件容易污染晶圆的问题_电子应用

北方华创申请进气组件、上电极装置和半导体工艺设备专利，解决进气组件容易污染晶圆的问题

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2026-02-28 01:11:41

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国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“进气组件、上电极装置和半导体工艺设备”的专利，公开号CN121583851A，申请日期为2025年11月。

专利摘要显示，本申请公开一种进气组件、上电极装置和半导体工艺设备，属于半导体加工技术领域。所公开的进气组件用于安装于上电极装置的介质窗上，介质窗设有安装凹槽，安装凹槽的底部设有出气孔，进气组件包括供气件、密封件和隔离件；供气件内具有气体通道，气体通道具有进气端和出气端；密封件、隔离件以及出气端均设于安装凹槽内；出气端用于与出气孔相连通以形成供气通道；隔离件位于介质窗与供气件之间，且环绕出气孔；密封件位于介质窗与供气件之间，且环绕隔离件，密封件与介质窗和供气件均密封配合，隔离件用于将供气通道和密封件隔开。上述方案能够解决进气组件存在容易污染晶圆以及影响工艺腔室的密封性的问题。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1385次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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