汇北川科技申请钯纳米膜氢气传感器制备工艺专利，响应值和响应速度均得到显著的提升
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2026-03-03 21:41:41
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国家知识产权局信息显示，深圳汇北川科技股份有限公司申请一项名为“一种钯纳米膜氢气传感器的制备工艺”的专利，公开号CN121595657A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，本发明公开了一种钯纳米膜氢气传感器的制备工艺，属于传感器制备领域。一种钯纳米膜氢气传感器的制备工艺，包括以下步骤，步骤一：将铝片进行预处理后压平去除表面氧化层；步骤二：进行一次氧化和二次氧化；步骤三：对氧化铝层进行扩孔操作，得到铝基负模具；步骤四：进行聚合和脱模；步骤五：使PMMA纳米柱阵列样品通过电子束蒸发设备镀膜，形成钯合金纳米膜；步骤六：进行微电极的制备与布局；步骤七：将微电极与外部电路之间完成电气连接和封装；本发明制得的钯纳米膜氢气传感器响应值和响应速度均得到显著的提升，不会因为基底限制和强烈晶格应力而脆化、开裂或者剥落，导致传感器快速老化和发生故障。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
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