苏州裕亚瑞电子科技申请基于多传感器融合的硅片传输自适应纠偏系统及方法专利，形成面向硅片传输过程的自适应加权多传感器融合与未来偏差预测机制_电子应用

苏州裕亚瑞电子科技申请基于多传感器融合的硅片传输自适应纠偏系统及方法专利，形成面向硅片传输过程的自适应加权多传感器融合与未来偏差预测机制

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2026-03-23 19:51:01

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国家知识产权局信息显示，苏州裕亚瑞电子科技有限公司申请一项名为“一种基于多传感器融合的硅片传输自适应纠偏系统及方法”的专利，公开号CN121712301A，申请日期为2025年12月。

专利摘要显示，本发明公开了一种基于多传感器融合的硅片传输自适应纠偏系统及方法，涉及自适应纠偏领域，包括：配置硅片传输机器人机构，并固定传输路径，基于固定传输路径的部署多传感器融合感知单元，配置统一坐标体系和外参标定。通过在固定传输路径上集成环形边缘视觉传感器阵列、激光位移传感器、惯性测量单元和真空压力传感器，在统一采样周期下对多源观测量执行时间空间对齐并构造统一观测向量，配合包含硅片平面偏移、法向高度位移、倾斜角与运动速度的硅片姿态状态向量、硅片姿态状态转移模型以及硅片姿态多源观测残差模型，形成面向硅片传输过程的自适应加权多传感器融合与未来偏差预测机制。

天眼查资料显示，苏州裕亚瑞电子科技有限公司，成立于2018年，位于苏州市，是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本300万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州裕亚瑞电子科技有限公司参与招投标项目22次，专利信息1条，此外企业还拥有行政许可6个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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