珠海智桦半导体申请臭氧水浓度稳定装置及晶圆清洗设备专利，使回收液与原有臭氧水充分混合_电子应用

珠海智桦半导体申请臭氧水浓度稳定装置及晶圆清洗设备专利，使回收液与原有臭氧水充分混合

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2026-03-27 02:17:13

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国家知识产权局信息显示，珠海智桦半导体科技有限公司申请一项名为“臭氧水浓度稳定装置及晶圆清洗设备”的专利，公开号CN121715075A，申请日期为2025年12月。

专利摘要显示，本申请提供了一种臭氧水浓度稳定装置及晶圆清洗设备，其中，臭氧水浓度稳定装置包括存储罐、补水机构、浓度稳定机构、输送机构和控制器，在目标清洗机构采用臭氧水清洗晶圆时，控制器控制输送机构向目标清洗机构输送臭氧水，此时，控制器控制补水机构向存储罐输送超纯水的流量，控制器控制浓度稳定机构循环流动臭氧水，以使臭氧与超纯水水体始终处于动态混合状态。在目标清洗机构停止清洗晶圆时，输送机构停止向目标清洗机构输送臭氧水，控制器控制浓度稳定机构循环流动臭氧水，并将管路中残留的臭氧水进行回收至存储罐中，以使回收液与原有臭氧水充分混合，使因回收液浓度偏差所引起的局部浓度变化被浓度稳定机构即时均化。

天眼查资料显示，珠海智桦半导体科技有限公司，成立于2024年，位于珠海市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1500.072万人民币。通过天眼查大数据分析，珠海智桦半导体科技有限公司共对外投资了2家企业，专利信息4条，此外企业还拥有行政许可7个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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