北方华创申请残余电荷去除装置专利，能够快速有效地去除静电卡盘表面的残余电荷_资源案例

北方华创申请残余电荷去除装置专利，能够快速有效地去除静电卡盘表面的残余电荷

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2026-06-26 20:35:06

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国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“残余电荷去除装置、方法、工艺腔室及半导体工艺设备”的专利，公开号CN122294346A，申请日期为2024年12月。

专利摘要显示，本申请提供了一种残余电荷去除装置、方法、工艺腔室及半导体工艺设备，该装置应用于半导体工艺设备，包括电荷清洁盘和旋转机构，旋转机构包括第一旋转轴和驱动装置，电荷清洁盘连接于第一旋转轴，驱动装置用于在工艺腔室中的静电卡盘需要去除残余电荷时驱动第一旋转轴旋转以使电荷清洁盘位于静电卡盘上方；电荷清洁盘包括导电层，用于在与静电卡盘接触时去除静电卡盘表面的残余电荷，由此，可以实现静电卡盘表面的残余电荷的自动清洁，从而能够快速有效地去除静电卡盘表面的残余电荷，且无需打开工艺腔室，进而避免了开腔室擦除静电卡盘表面的残余电荷所造成的安全风险以及工艺腔室中的相关部件的资源耗费。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1437次，财产线索方面有商标信息73条，专利信息5856条，此外企业还拥有行政许可340个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

企业投资残余华创装置电荷工艺有效地静电专利腔室清洁盘卡盘

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