潍坊明哲智能科技取得用于半导体晶圆清洗烘干装置专利，避免调整半导体晶圆过程中造成污染
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2025-06-02 11:33:13
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金融界2025年6月2日消息，国家知识产权局信息显示，潍坊明哲智能科技有限公司取得一项名为“一种用于半导体晶圆清洗的烘干装置”的专利，授权公告号CN222925859U，申请日期为2024年07月。
专利摘要显示，本实用新型提供一种用于半导体晶圆清洗的烘干装置，涉及烘干装置技术领域，包括储存箱，储存箱的底端紧固连接有多组承重轴，储存箱的顶端紧固连接有加工箱，储存箱的内部底端紧固连接有两组限位板，通过设置的储存箱、清洗板、伸缩轴和电机配合下，将半导体晶圆卡合在清洗板的顶端，在使用电机可以带动伸缩轴进行升降作业，在伸缩轴升降的过程中，可以同步带动清洗板和半导体晶圆进行升降，当半导体晶圆和清洗板升降到预设的位置时，半导体晶圆可以完全浸泡在储存箱内部所储存的清洗液中，不需要施工人员手动对半导体晶圆进行调整，避免了在调整半导体晶圆的过程中，对半导体晶圆造成污染。
来源：金融界
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