华芯半导体申请一种能确保晶圆周围蚀刻液均匀流动的VCSEL芯片金属蚀刻设备专利_资源案例

华芯半导体申请一种能确保晶圆周围蚀刻液均匀流动的VCSEL芯片金属蚀刻设备专利

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2025-06-07 17:05:59

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金融界2025年6月7日消息，国家知识产权局信息显示，华芯半导体科技有限公司;华芯半导体研究院（北京）有限公司申请一项名为“一种VCSEL芯片金属蚀刻设备”的专利，公开号CN120099525A，申请日期为2025年03月。

专利摘要显示，本发明公开了一种VCSEL芯片金属蚀刻设备，涉及芯片金属蚀刻设备技术领域。包括主机箱、浸泡池、浸泡组件、升降驱动组件、盖板和吸气格栅，本发明利用升降驱动组件带动浸泡组件上下移动和旋转，从而带动晶圆浸泡或转动。通过扇片环的伸缩，使搅拌扇片在伸出扇叶槽的状态下，可以对蚀刻液进行搅拌，确保晶圆周围的蚀刻液均匀流动，让晶圆表面与蚀刻液的接触更加均匀，防止局部过刻或欠刻；当晶圆进行上料时，搅拌扇片回缩在扇叶槽内，防止晶圆上料时被搅拌扇片阻挡或刮花。通过设置弹簧伸缩杆，利用弹簧伸缩杆自身的收缩，来避免夹持力度过大而造成晶圆损坏，柔性压条采用柔性材料制成，防止其与晶圆之间产生剐蹭，达到对晶圆的双重夹持防护。

天眼查资料显示，华芯半导体科技有限公司，成立于2015年，位于泰州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本23715.4421万人民币。通过天眼查大数据分析，华芯半导体科技有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目5次，财产线索方面有商标信息2条，专利信息64条，此外企业还拥有行政许可28个。

华芯半导体研究院（北京）有限公司，成立于2019年，位于北京市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本5000万人民币。通过天眼查大数据分析，华芯半导体研究院（北京）有限公司专利信息50条，此外企业还拥有行政许可2个。

来源：金融界

企业信息芯片流动伸缩华芯导体查大专利金属蚀刻液扇片晶圆组件

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