中科飞测申请一种显微镜物镜及检测系统专利，提高对半导体缺陷的检测速度和分辨率
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2025-06-09 11:37:18
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金融界2025年6月9日消息，国家知识产权局信息显示，深圳中科飞测科技股份有限公司申请一项名为“一种显微镜物镜及检测系统”的专利，公开号CN120103594A，申请日期为2023年11月。
专利摘要显示，本发明实施例提供了一种显微镜物镜及检测系统，用于提供基于266nm至520nm波段的大视场大数据值孔径的显微镜物镜，用于提高对半导体缺陷的检测速度和分辨率。本发明实施例中的显微镜物镜包括：由物方到像方依次共轴设置的至少一组负光焦度透镜组、4组或5组正光焦度透镜组以及一组弯月正透镜组，其中，所述显微镜物镜的工作波段包括[266nm,520nm]，所述显微镜物镜的数值孔径大于0.85；其中，所述至少一组负光焦度透镜组的焦距与所述显微镜物镜的焦距的比值范围包括[‑5,‑2.5]；所述4或5组正光焦度透镜组的焦距与所述显微镜物镜的焦距的比值范围包括[4,16]；所述一组弯月正透镜组的焦距与所述显微镜物镜的焦距的比值范围包括[2.8,3.5]，其中，所述弯月正透镜组的凹面都朝向像面。
天眼查资料显示，深圳中科飞测科技股份有限公司，成立于2014年，位于深圳市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本32000万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳中科飞测科技股份有限公司共对外投资了11家企业，参与招投标项目254次，财产线索方面有商标信息253条，专利信息957条，此外企业还拥有行政许可39个。
来源：金融界
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