中科飞测申请一种显微镜物镜及检测系统专利，提高对半导体缺陷的检测速度和分辨率
创始人
2025-06-09 11:37:18
0次
金融界2025年6月9日消息，国家知识产权局信息显示，深圳中科飞测科技股份有限公司申请一项名为“一种显微镜物镜及检测系统”的专利，公开号CN120103594A，申请日期为2023年11月。
专利摘要显示，本发明实施例提供了一种显微镜物镜及检测系统，用于提供基于266nm至520nm波段的大视场大数据值孔径的显微镜物镜，用于提高对半导体缺陷的检测速度和分辨率。本发明实施例中的显微镜物镜包括：由物方到像方依次共轴设置的至少一组负光焦度透镜组、4组或5组正光焦度透镜组以及一组弯月正透镜组，其中，所述显微镜物镜的工作波段包括[266nm,520nm]，所述显微镜物镜的数值孔径大于0.85；其中，所述至少一组负光焦度透镜组的焦距与所述显微镜物镜的焦距的比值范围包括[‑5,‑2.5]；所述4或5组正光焦度透镜组的焦距与所述显微镜物镜的焦距的比值范围包括[4,16]；所述一组弯月正透镜组的焦距与所述显微镜物镜的焦距的比值范围包括[2.8,3.5]，其中，所述弯月正透镜组的凹面都朝向像面。
天眼查资料显示，深圳中科飞测科技股份有限公司，成立于2014年，位于深圳市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本32000万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳中科飞测科技股份有限公司共对外投资了11家企业，参与招投标项目254次，财产线索方面有商标信息253条，专利信息957条，此外企业还拥有行政许可39个。
来源：金融界
相关内容
热门资讯
苏州矩阵光电取得垂直方向敏感霍...
国家知识产权局信息显示，苏州矩阵光电有限公司取得一项名为“一种垂直方向敏感的霍尔传感框架结构及其制备...
九创智航取得基于AI的无人机光...
国家知识产权局信息显示，九创智航（广西）科技有限公司取得一项名为“基于AI的无人机光电跟瞄系统及其目...
嘉兴朗思光学取得基于光学透镜的...
国家知识产权局信息显示，嘉兴朗思光学科技有限公司取得一项名为“一种基于光学透镜的倾角传感器”的专利，...
保利泰达取得便于安装的压电陶瓷...
国家知识产权局信息显示，北京保利泰达仪器设备有限公司取得一项名为“一种便于安装的压电陶瓷拾音传感器”...
联创电子因财务核算不规范等问题...
联创电子3月20日盘后公告，公司于近日收到江西证监局出具的警示函。因财务核算不规范、内部控制管理存在...
威灵汽车部件取得转子组件专利，...
国家知识产权局信息显示，安徽威灵汽车部件有限公司、安庆威灵汽车部件有限公司、广东威灵汽车部件有限公司...
山东嘉拓电子取得双工位焊接机专...
国家知识产权局信息显示，山东嘉拓电子技术有限公司取得一项名为“一种双工位焊接机”的专利，授权公告号C...
美光科技申请配置设置验证专利，...
国家知识产权局信息显示，美光科技公司申请一项名为“配置设置验证”的专利，公开号CN121682915...
大唐安阳取得继电器快速安装结构...
国家知识产权局信息显示，大唐安阳发电有限责任公司取得一项名为“一种继电器快速安装结构”的专利，授权公...
德尔诚申请半导体二极管集成化自...
国家知识产权局信息显示，江西德尔诚半导体有限公司申请一项名为“一种半导体二极管的集成化自动加工设备”...