北方华创申请炉门驱动装置及半导体热处理设备专利，避免炉门因发生过大的振动而损坏
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2025-06-10 10:05:03
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金融界2025年6月10日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“炉门驱动装置及半导体热处理设备”的专利，公开号CN120120870A，申请日期为2023年12月。
专利摘要显示，本发明提供一种炉门驱动装置以及半导体热处理设备。其中，炉门驱动装置包括连接盘、限位组件、止动组件以及驱动源；驱动源用于驱动连接盘绕自身轴线旋转；连接盘与炉门连接，用以带动炉门旋转；连接盘具有限位部和止动部；限位组件用于在连接盘旋转至预设限位位置时与限位部限位配合，以使连接盘停止沿原旋转方向继续旋转；止动组件用于在限位组件与限位部限位配合时，与止动部止动配合，以阻止连接盘沿与原旋转方向相反的方向旋转，从而阻止炉门反向旋转，并避免连接盘与限位组件之间反复进行限位配合而导致连接盘产生剧烈振动，进而避免炉门因发生过大的振动而损坏。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目1065次，财产线索方面有商标信息66条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
来源：金融界
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