易普雷特半导体申请具备多工艺能力的单晶圆电镀设备专利，提高生产效率
创始人
2025-05-15 22:08:49
0次
金融界2025年5月15日消息，国家知识产权局信息显示，易普雷特半导体科技（南通）有限公司申请一项名为“一种具备多工艺能力的单晶圆电镀设备”的专利，公开号CN119980425A，申请日期为2025年2月。
专利摘要显示，本发明公开了一种具备多工艺能力的单晶圆电镀设备，包括工作台，所述工作台为圆形结构，且中心设置转盘，所述转盘采用电机驱动，所述转盘上设置机械手臂，所述机械手臂上设置吸盘，所述工作台上按照顺时针或逆时针方向分别设置电镀工位、清洗工位、烘干工位和出料工位，且围绕转盘环形阵列分布；所述机械手臂通过吸盘将电镀工位上的单晶圆吸附后依次通过清洗工位进行清洗、烘干工位进行烘干和出料工位进行输出。本发明将电镀、清洗、烘干和出料进行合理结合，满足工艺要求，减少了晶圆在不同设备之间的转移时间，进一步提高了生产效率。
天眼查资料显示，易普雷特半导体科技（南通）有限公司，成立于2025年，位于南通市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，易普雷特半导体科技（南通）有限公司专利信息1条，此外企业还拥有行政许可1个。
来源：金融界
相关内容
热门资讯
上海嘉澜半导体取得基于MOS管...
国家知识产权局信息显示，上海嘉澜半导体有限公司取得一项名为“一种基于MOS管的限流保护电路”的专利，...
煜瑛微电子取得RTU控制器专利...
国家知识产权局信息显示，苏州煜瑛微电子科技有限公司取得一项名为“RTU控制器”的专利，授权公告号CN...
火炬电子：董事会秘书变更
上证报中国证券网讯 火炬电子3月31日发布董事会决议显示，聘任兰婷杰为公司董事会秘书，详情如下： 姓...
国微电子取得误差放大器、电源芯...
国家知识产权局信息显示，深圳市国微电子有限公司取得一项名为“误差放大器、电源芯片及电子设备”的专利，...
菲利斯太阳能取得减小开关管应力...
国家知识产权局信息显示，广州菲利斯太阳能科技有限公司取得一项名为“一种减小开关管应力的逆变器结构”的...
天马取得像素电路及显示面板专利
国家知识产权局信息显示，天马新型显示技术研究院（厦门）有限公司取得一项名为“像素电路、显示面板和显示...
四川美丰取得云母电容器浸渍加工...
国家知识产权局信息显示，四川美丰云母工业有限责任公司取得一项名为“一种云母电容器浸渍加工装置”的专利...
乾照光电大宗交易成交2.59亿...
乾照光电3月31日大宗交易平台出现一笔成交，成交量1040.00万股，成交金额2.59亿元，大宗交易...
索尼申请无透镜图像传感器编码图...
国家知识产权局信息显示，索尼半导体解决方案公司;索尼集团公司申请一项名为“非暂时性计算机可读存储介质...
天津科技大学申请基于Agent...
国家知识产权局信息显示，天津科技大学、天津卓智教育科技有限公司申请一项名为“一种基于Agentic工...