北方华创申请进气装置和半导体工艺设备专利，工艺气体切换时维持工艺腔室的气流稳定_资源案例

北方华创申请进气装置和半导体工艺设备专利，工艺气体切换时维持工艺腔室的气流稳定

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2025-06-28 17:38:01

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金融界2025年6月28日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“进气装置和半导体工艺设备”的专利，公开号CN120210946A，申请日期为2023年12月。

专利摘要显示，本发明提供了一种进气装置、进气控制方法和半导体工艺设备，涉及半导体加工技术领域，以解决工艺气体切换时补偿不及时的问题。进气装置包括运行管路、排气管路、补偿切换组件以及，配置为连通于补偿气源的第一补偿组件和第二补偿组件，第一补偿组件包括第一补偿管路和设置于第一补偿管路的第一流量控制装置；第二补偿组件，包括第二补偿管路和设置于第二补偿管路的第二流量控制装置；补偿切换组件用于在第一模式和第二模式中切换，第一模式中，第一补偿管路连通运行管路且第二补偿管路连通排气管路；第二模式中，第一补偿管路连通排气管路且第二补偿管路连通运行管路。其可以工艺气体切换时维持工艺腔室的气流稳定。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1075次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。

来源：金融界

企业显示切换管路半导体华创装置补偿工艺专利进气装置工艺腔室组件

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