原力芯辰取得一种ALD装置及半导体设备专利，有效提高ALD工艺时的膜厚均匀性和膜层质量
创始人
2025-07-14 12:38:49
0次
金融界2025年7月14日消息，国家知识产权局信息显示，上海原力芯辰科技有限公司取得一项名为“一种ALD装置及半导体设备”的专利，授权公告号CN223087911U，申请日期为2024年08月。
专利摘要显示，本实用新型提供了一种ALD装置及半导体设备，涉及半导体技术领域。ALD装置包括托盘以及喷淋面板。托盘用于承载基底，喷淋面板与托盘相对设置，喷淋面板设置有第一进气区域、第二进气区域和隔离区域，隔离区域位于第一进气区域和第二进气区域之间，第一进气区域用于向托盘上的基底喷射金属源，第二进气区域用于向托盘上的基底喷射氧源，隔离区域用于向托盘上的基底喷射惰性气源，可以杜绝金属源和氧源在有效沉积区域的直接接触而产生的CVD反应，从而有效提高ALD工艺时的膜厚均匀性和膜层质量。
天眼查资料显示，上海原力芯辰科技有限公司，成立于2024年，位于上海市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本5000万人民币。通过天眼查大数据分析，上海原力芯辰科技有限公司参与招投标项目2次，专利信息22条，此外企业还拥有行政许可1个。
来源：金融界
相关内容
热门资讯
中微半导体取得带隙基准电压源相...
金融界2025年7月15日消息，国家知识产权局信息显示，中微半导体（深圳）股份有限公司取得一项名为“...
拓荆创益（沈阳）半导体申请静电...
金融界2025年7月15日消息，国家知识产权局信息显示，拓荆创益（沈阳）半导体设备有限公司申请一项名...
创维软件取得残次品芯片筛选相关...
金融界2025年7月15日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市创维软件有限公司取得一项名为“残次品芯...
黄仁勋：英伟达获准对华出售H2...
参考消息网7月15日报道据新加坡《联合早报》7月15日报道，美国科技企业英伟达创始人兼首席执行官黄仁...
金升阳取得超宽压输入开关电源相...
金融界2025年7月15日消息，国家知识产权局信息显示，广州金升阳科技有限公司取得一项名为“一种超宽...
颖豪太阳能取得自动启闭灯具开关...
金融界2025年7月15日消息，国家知识产权局信息显示，中山市颖豪太阳能科技有限公司取得一项名为“一...
凯华电子取得单刀双掷型按键开关...
金融界2025年7月15日消息，国家知识产权局信息显示，东莞市凯华电子有限公司取得一项名为“一种单刀...
微控飞轮申请基于LCL滤波器的...
金融界2025年7月15日消息，国家知识产权局信息显示，微控飞轮（沈阳）技术开发有限公司申请一项名为...
重庆中易智芯取得低插损高频声表...
金融界2025年7月15日消息，国家知识产权局信息显示，重庆中易智芯科技有限责任公司取得一项名为“一...
北京新能源汽车取得控制器及车辆...
金融界2025年7月15日消息，国家知识产权局信息显示，北京新能源汽车股份有限公司取得一项名为“控制...