截至2025年9月10日 14:35，上证科创板半导体材料设备主题指数上涨0.22%，成分股安集科技上涨2.07%，天岳先进上涨1.86%，中船特气上涨1.44%，中微公司上涨1.19%，中芯国际上涨1.15%。科创半导体ETF（588170）上涨0.17%，最新价报1.15元。流动性方面，科创半导体ETF（588170）盘中换手14.18%，成交8413.71万元，市场交投活跃。规模方面，科创半导体ETF（588170）最新规模达5.91亿元，创成立以来新高。份额方面，科创半导体ETF（588170）最新份额达5.15亿份，创近3月新高。从资金净流入方面来看，科创半导体ETF（588170）近8天获得连续资金净流入，最高单日获得4618.45万元净流入，合计“吸金”1.67亿元，日均净流入达2090.30万元。

浙商证券认为，半导体设备是半导体产业链的基石，在AI浪潮引领下，芯片库存周期、国内晶圆厂扩产周期、海外管制趋严背景下的设备国产化诉求有望实现三重共振，推动半导体设备板块业绩超预期。半导体设备行业马太效应极强，建议一方面把握住龙头企业的成长确定性，一方面可以关注国产化率较低，成长空间较大的细分领域龙头企业。核心受益环节包括半导体前后道设备、设备零部件企业。

相关ETF：公开信息显示，科创半导体ETF（588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，囊括科创板中半导体设备（59%）和半导体材料（25%）细分领域的硬科技公司。半导体设备和材料行业是重要的国产化替代领域，具备国产化率较低、国产化替代天花板较高属性，受益于人工智能革命下的半导体需求扩张、科技重组并购浪潮、光刻机技术进展。

半导体材料ETF（562590）及其联接基金（A类：020356、C类：020357），指数中半导体设备（59%）、半导体材料（24%）占比靠前，充分聚焦半导体上游。

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