“十五五”规划建议重点聚焦关键核心技术领域的自主突破，设备是直接受益环节之一。短期看，AI算力需求推动国内外逻辑与存储厂商扩产，刻蚀、薄膜沉积设备需求旺盛；长期看，国产替代逻辑在“十五五”科技自强战略下更为稳固。

10月27日，受“十五五”规划催化，半导体设备ETF（159516）延续上涨，盘中涨超5%。资金持续抢筹，半导体设备ETF（159516）年初以来份额增长超200%，当前规模近80亿元，居同类产品第一。

“十五五”锚定科技自立， “国产替代、自主可控”核心主线获夯实

“十五五”规划建议锚定“科技自立自强”。银河证券表示，“十五五”规划重点聚焦关键核心技术领域的自主突破，设备是直接受益环节之一。短期看，AI 算力需求推动国内外逻辑与存储厂商扩产，刻蚀、薄膜沉积设备需求旺盛；长期看，国产替代逻辑在“十五五”科技自强战略下更为稳固。

科技自立自强背景下，“国产替代、自主可控”核心主线地位得到夯实，半导体设备ETF（159516）值得关注。从近期事件看，我们认为目前全球国际形势趋于复杂化，大国之间的博弈正在加强。AI作为目前全球大国的战略方向，我国发展国产算力也是很重要的。国产算力的渗透率可能在中期达到比较高的水平，半导体产业链成长动能强劲。

政策面基本面利好不断，算力板块发展前景向好

政策面上，科技自立自强有望贯穿“十五五”，算力板块或成重点方向。首先，我国发展国产算力的确定性很强，中国是全球第二大计算市场，半导体产业链迎来新的成长周期，政策面的相关扶持上，半导体产业链很可能成为未来几年的重点方向。其次，从AI本身来看，我们甚至不能说AI是一个行业，它更像是底层生产力的推动引擎，很多行业尤其是科技行业焕发新的生命力，所以，当商业航天、生物制造、脑机接口、具身智能等科技行业迅速成长的同时，AI必然同步成长。

基本面看，国内外云厂商持续加大资本开支，AI利好频传。根据国信证券，北美CSP云厂（包括亚马逊、谷歌、Meta、微软、甲骨文等）计划2025财年资本开支超过3700亿美元，同比增长40%。其中，甲骨文最新一季财报显示，其FY26Q1末剩余履约义务（RPO）达4550亿美元，较上季度末增加3170亿美元。公司将继续加大AI投入，预计2026财年资本开支达350亿美元。10月6日OpenAI宣布与AMD共同部署6GW的MI450 GPU集群。国内CSP云厂持续加大AI投入，国产数据中心超节点产业化进程加速。中国云厂（字节、阿里、腾讯、百度等）预计在2025年投入在AI算力的支出超过4500亿元。同时国产超节点算力集群的产业化进程也在加速。

关注半导体设备ETF（159516）配置机会

半导体设备ETF（159516）跟踪中证半导体材料设备主题指数，能较好代表设备材料环节基本面进展，感兴趣的投资者可以关注相关半导体设备ETF（159516）布局机会。

风险提示：数据来源：中证指数公司，截至2025年10月24日。指数成分股仅供参考，不代表投资建议。

注：数据来源iFinD，截至2025.10.24，半导体设备ETF规模为78.18亿，在同类6只产品中排名第一。

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