晶合集成获得发明专利授权:“一种半导体结构的制备方法”
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2025-11-13 03:36:24
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示晶合集成(688249)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种半导体结构的制备方法”,专利申请号为CN202511212097.7,授权日为2025年11月11日。

专利摘要:本发明提供一种半导体结构的制备方法。制备方法包括如下步骤:提供基底,基底包括衬底、垫氧化层和至少一个沟槽组,沟槽组包括第一沟槽和第二沟槽,垫氧化层形成于衬底的表面,第一沟槽和第二沟槽设置于衬底内且上部贯穿垫氧化层;在第一沟槽的侧壁上和第二沟槽的侧壁上形成第一阻挡层;在第一阻挡层的侧壁上形成第二阻挡层;在第二沟槽两侧的第二阻挡层之间形成隔离层;将第二阻挡层替换成自下而上依次设置的第一外延层和重掺杂区,将第一阻挡层替换成自下而上依次设置的第二外延层和轻掺杂区;在第一沟槽与第二沟槽之间的沟道上形成栅极结构,在栅极结构的两侧形成侧墙结构。本发明的制备方法可简化制作工艺,提高生产效率,降低制作成本。

今年以来晶合集成新获得专利授权327个,较去年同期增加了40.34%。结合公司2025年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了6.95亿元,同比增13.13%。

通过天眼查大数据分析,合肥晶合集成电路股份有限公司共对外投资了10家企业,参与招投标项目632次;财产线索方面有商标信息53条,专利信息1428条,著作权信息7条;此外企业还拥有行政许可21个。

数据来源:天眼查APP

以上内容为证券之星据公开信息整理,由AI算法生成(网信算备310104345710301240019号),不构成投资建议。

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