上海邦芯半导体申请一种钨通孔的制造方法专利,有效提高钨刻蚀的效率
创始人
2025-05-22 09:10:12
0

金融界2025年5月22日消息,国家知识产权局信息显示,上海邦芯半导体科技有限公司申请一项名为“一种钨通孔的制造方法”的专利,公开号CN120015696A,申请日期为2025年02月。

专利摘要显示,本发明提供一种钨通孔的制造方法,制造方法包括:提供一包括由真空传送通道连通的第一腔体与第二腔体的设备,且真空传送通道中设有冷却装置,将一表面开设有通孔的基底置于第一腔体中,向第一腔体内通入第一气体以沉积钨膜层,得到一包括基底和钨膜层的中间结构,且钨膜层覆盖基底表面并填充进通孔,将第一腔体、真空传送通道以及第二腔体抽至相同预设真空度,通过真空传送通道将中间结构传送至第二腔体内,向第二腔体内通入第二气体以刻蚀去除通孔外的钨膜层,形成钨通孔,进行破真空并从设备中取出形成有钨通孔的基底。

天眼查资料显示,上海邦芯半导体科技有限公司,成立于2020年,位于上海市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本6166.6668万人民币。通过天眼查大数据分析,上海邦芯半导体科技有限公司共对外投资了5家企业,参与招投标项目13次,财产线索方面有商标信息17条,专利信息117条,此外企业还拥有行政许可2个。

来源:金融界

相关内容

股市必读:亚世光电5月22...
截至2025年5月22日收盘,亚世光电(002952)报收于21....
2025-05-23 04:04:08
股市必读:路维光电(688...
截至2025年5月22日收盘,路维光电(688401)报收于30....
2025-05-23 04:04:08
雷曼光电获得实用新型专利授...
证券之星消息,根据天眼查APP数据显示雷曼光电(300162)新获...
2025-05-23 04:04:08
中航光电获得实用新型专利授...
证券之星消息,根据天眼查APP数据显示中航光电(002179)新获...
2025-05-23 04:04:07
澳华内镜:小洲光电拟减持不...
每经AI快讯,澳华内镜(SH 688212,收盘价:47.32元)...
2025-05-23 04:04:07
五方光电盘中快速拉升 成交...
截至2025年5月22日15时,五方光电股价报14.20元,较前一...
2025-05-23 04:04:06
埃科光电获得外观设计专利授...
证券之星消息,根据天眼查APP数据显示埃科光电(688610)新获...
2025-05-23 04:04:06
长飞光纤获得实用新型专利授...
证券之星消息,根据天眼查APP数据显示长飞光纤(601869)新获...
2025-05-23 04:04:05
格力电器获得实用新型专利授...
证券之星消息,根据天眼查APP数据显示格力电器(000651)新获...
2025-05-23 04:04:05

热门资讯

中航光电获得实用新型专利授权:... 证券之星消息,根据天眼查APP数据显示中航光电(002179)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“...
澳华内镜:小洲光电拟减持不超过... 每经AI快讯,澳华内镜(SH 688212,收盘价:47.32元)5月22日晚间发布公告称,截至本公...
海尔智家获得实用新型专利授权:... 证券之星消息,根据天眼查APP数据显示海尔智家(600690)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“...
海尔智家获得外观设计专利授权:... 证券之星消息,根据天眼查APP数据显示海尔智家(600690)新获得一项外观设计专利授权,专利名为“...
均胜电子董事朱雪松增持3万股,... 每经AI快讯,据上交所官网,2025年5月20日,均胜电子(SH 600699,收盘价:20.09元...
华强北亮相国际人工智能展 硬核... 深圳商报·读创客户端记者 刘虹辰 5月22日,2025全球人工智能终端展暨第六届深圳国际人工智能展览...
云里物里获得实用新型专利授权:... 证券之星消息,根据天眼查APP数据显示云里物里(872374)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“...
商络电子:股东谢丽计划减持公司... 每经AI快讯,商络电子(SZ 300975,收盘价:11.11元)5月22日晚间发布公告称,南京商络...
南京熊猫获得实用新型专利授权:... 证券之星消息,根据天眼查APP数据显示南京熊猫(600775)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“...
科华数据获得实用新型专利授权:... 证券之星消息,根据天眼查APP数据显示科华数据(002335)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“...