拓荆创益申请用于静电卡盘电源的电压补偿装置及静电卡盘系统专利，可补偿静电卡盘电源的电压_资源案例

拓荆创益申请用于静电卡盘电源的电压补偿装置及静电卡盘系统专利，可补偿静电卡盘电源的电压

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2025-11-26 12:08:01

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国家知识产权局信息显示，拓荆创益（沈阳）半导体设备有限公司申请一项名为“用于静电卡盘电源的电压补偿装置及静电卡盘系统”的专利，公开号CN 121008641 A，申请日期为2025年9月。专利摘要显示，本发明提供了一种用于静电卡盘电源的电压补偿装置及静电卡盘系统。所述电压补偿装置包括电压采集模块、数据比较模块、数据处理模块、电压输出模块以及PID控制模块。所述电压采集模块采集静电卡盘电源的输出电压值，并发送至所述数据比较模块；所述数据比较模块将采集到的输出电压值和设定电压值进行比较，得到比较结果；所述数据处理模块根据所述比较结果计算出偏差值，并根据偏差值决定是否驱动所述电压输出模块；所述PID控制模块根据所述处理模块的输出进行PID控制，调节所述电压输出模块的电压值并生成补偿电压，以补偿所述静电卡盘电源的电压。

天眼查资料显示，拓荆创益（沈阳）半导体设备有限公司，成立于2023年，位于沈阳市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本50000万人民币。通过天眼查大数据分析，拓荆创益（沈阳）半导体设备有限公司参与招投标项目17次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息389条，此外企业还拥有行政许可15个。

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来源：市场资讯

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