国家知识产权局信息显示,北京电子量检测装备有限责任公司申请一项名为“一种半导体芯片的三维检测方法及装置、电子设备”的专利,公开号CN121075945A,申请日期为2025年11月。
专利摘要显示,本申请公开了一种半导体芯片的三维检测方法及装置、电子设备,方法包括:通过3D相机测头获取待测芯片晶圆的高度检测数据、强度检测数据及检测Die;将检测Die和模板Die进行匹配,得到有效Die;基于有效Die的高度检测数据和强度检测数据形成有效强度图和有效高度图;基于有效强度图得到目标二值图,识别获取其中的Bump以及Bump的基本信息;将Bump映射到有效高度图中,获取Bump的有效高度数据和参考基底数据,进而得到Bump的相对高度数据,并基于基本信息和对应的相对高度数据得到检测结果。本申请能降低对采集高度数据对比度的要求,并使得芯片检测具有更强的鲁棒性。
天眼查资料显示,北京电子量检测装备有限责任公司,成立于2001年,位于北京市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本15550万人民币。通过天眼查大数据分析,北京电子量检测装备有限责任公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目71次,专利信息118条,此外企业还拥有行政许可8个。
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来源:市场资讯