东方晶源取得电子束偏转加速装置专利，具有结构简单的优点
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2025-12-27 17:36:53
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国家知识产权局信息显示，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司取得一项名为“电子束偏转加速装置及半导体器件检测设备”的专利，授权公告号CN223729988U，申请日期为2025年1月。
专利摘要显示，本实用新型涉及半导体检测技术领域，特别是涉及一种电子束偏转加速装置及半导体器件检测设备。该电子束偏转加速装置包括支撑筒、增速筒、一个或多个偏转组件。支撑筒由绝缘材料制成，支撑筒限定出贯穿通道。当偏转组件为多个时，多个偏转组件沿贯穿通道的轴向方向依次间隔设置。每个偏转组件设置于支撑筒的外周壁上，每个偏转组件具有至少一个用于产生磁场的偏转线圈。增速筒限定出电子束通道；增速筒沿贯穿通道的轴向方向延伸，增速筒的至少部分位于贯穿通道内。本实用新型的电子束偏转加速装置具有结构简单、生产成本低和使用成本低的优点。
天眼查资料显示，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司，成立于2014年，位于北京市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本36401.6097万人民币。通过天眼查大数据分析，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目23次，财产线索方面有商标信息162条，专利信息384条，此外企业还拥有行政许可18个。
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来源：市场资讯
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