纽富来科技取得半导体装置及多带电粒子束装置相关专利
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2026-01-31 09:42:42
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国家知识产权局信息显示，纽富来科技股份有限公司取得一项名为“半导体装置、多带电粒子束描绘装置以及多带电粒子束照射装置”的专利，授权公告号CN114975321B，申请日期为2022年2月。
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来源：市场资讯
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