北方华创申请温度调节系统及半导体工艺设备专利，可快速调节温度
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2026-02-04 13:47:57
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国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“一种温度调节系统及半导体工艺设备”的专利，公开号CN121443006A，申请日期为2024年7月。
专利摘要显示，本申请公开了一种温度调节系统及半导体工艺设备，温度调节系统包括：汇流腔，用于向被控温对象输入换热介质；供给主路，与汇流腔连接，用于向汇流腔输入换热介质，供给主路设置有第一比例阀和第二比例阀；第一供给支路，一端连接第一比例阀，另一端连接汇流腔；第一调温单元，用于将流经第一供给支路的换热介质的温度调节至第一目标温度；第二供给支路，一端连接第二比例阀，另一端连接汇流腔；第二调温单元，用于将流经第二供给支路的换热介质的温度调节至第二目标温度；其中，供给主路中的换热介质的当前温度小于第一目标温度，且大于第二目标温度。本申请可快速调节温度，不会增加设备的占用空间，更节能，还可避免流量分配不均的情况。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1365次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
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来源：市场资讯
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