金融界2025年7月2日消息,国家知识产权局信息显示,无锡华润上华科技有限公司申请一项名为“半导体结构及其制造方法”的专利,公开号CN120236997A,申请日期为2023年12月。
专利摘要显示,本公开涉及一种半导体结构及其制造方法。所述方法包括:提供衬底,于衬底上形成硬掩模材料层;刻蚀硬掩模材料层,使硬掩模材料层在目标区域的厚度具有梯度,获得硬掩模层;基于硬掩模层对衬底进行离子注入,于衬底内形成掩埋介质层,掩埋介质层正对目标区域的目标部的厚度具有梯度;去除硬掩模层。
天眼查资料显示,无锡华润上华科技有限公司,成立于2002年,位于无锡市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本66801.147万美元。通过天眼查大数据分析,无锡华润上华科技有限公司参与招投标项目4047次,财产线索方面有商标信息5条,专利信息1463条,此外企业还拥有行政许可120个。
来源:金融界