科磊申请具有基于氟化物的抗反射涂层的硼涂覆的背照式图像传感器专利，用于检测短波长辐射
创始人
2025-07-29 17:39:22
0次
金融界2025年7月29日消息，国家知识产权局信息显示，科磊股份有限公司申请一项名为“具有基于氟化物的抗反射涂层的硼涂覆的背照式图像传感器”的专利，公开号CN120391097A，申请日期为2024年01月。
专利摘要显示，用于检测短波长辐射(例如，深紫外线(DUV)及真空紫外线(VUV)光)的背照式图像传感器(150)包含半导体隔膜(160)、形成在所述半导体隔膜的前侧表面(161)上的电路元件(171)及所述半导体隔膜的背侧表面(162)上的纯硼涂层(180)。两部分抗反射涂层(181)经形成在所述纯硼涂层(180)上方且包含安置在所述纯硼涂层(180)与基于氟化物的抗反射层(185)之间的薄氧化物或氮化物保护层(182)。一种用于制造所述图像传感器的方法可包含执行等离子体原子层沉积(等离子体ALD)工艺以循序地产生所述纯硼涂层(180)、所述氧化物/氮化物保护层(182)及接着所述基于氟化物的抗反射层(185)。所述等图像传感器可经配置为电荷耦合装置(CCD)、互补金属氧化物半导体(CMOS)传感器或光电二极管，且经布置为二维(2D)区域传感器或一维(1D)阵列传感器。
来源：金融界
相关内容
热门资讯
芯联集成：拟向控股子公司增资1...
钛媒体App 10月16日消息，芯联集成公告称，基于公司的整体战略发展规划和实际经营需求，看好功率模...
股票行情快报：三安光电（600...
证券之星消息，截至2025年10月16日收盘，三安光电(600703)报收于14.63元，下跌1.8...
聚灿光电：主业稳健增长 红黄光...
中证报中证网讯（王珞）聚灿光电科技股份有限公司近日披露2025年第三季度报告。报告显示，公司前三季度...
超声电子杨晓辞任非独立董事，当...
10月16日，超声电子（000823）发布公告，董事会收到杨晓提交的书面辞职报告，因公司内部工作调整...
茂硕电源：2025年前三季度净...
每经AI快讯，10月16日，茂硕电源公告，2025年前三季度公司实现营业收入9.45亿元，同比增长2...
股票行情快报：四方光电（688...
证券之星消息，截至2025年10月16日收盘，四方光电(688665)报收于57.15元，下跌2.6...
茂硕电源：10月16日召开董事...
每经AI快讯，茂硕电源（SZ 002660，收盘价：9.82元）10月16日晚间发布公告称，公司第六...
明阳电路（300739）股东丰...
证券之星消息，明阳电路（300739）10月16日公开信息显示，股东丰县润佳玺企业管理有限公司向国金...
ROG新品超玩会开启！BE@R...
10月16日，ROG玩家国度2025新品超玩会高燃开启!华硕电脑开放平台中国区总经理俞元麟携手知名电...
10月16日深证绿色制造（97...
证券之星消息，10月16日，深证绿色制造（970069）指数报收于1878.24点，涨0.6%，成交...