京仪装备获得实用新型专利授权：“一种用于半导体刻蚀金属铝工艺去除粉末的处理装置”_电子百科

京仪装备获得实用新型专利授权：“一种用于半导体刻蚀金属铝工艺去除粉末的处理装置”

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2025-11-07 06:05:19

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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示京仪装备（688652）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种用于半导体刻蚀金属铝工艺去除粉末的处理装置”，专利申请号为CN202422478890.9，授权日为2025年11月7日。

专利摘要：一种用于半导体刻蚀金属铝工艺去除粉末的处理装置，包括进气管、氮气吹扫装置和粉尘去除装置；进气管内部输入有制程废气，氮气吹扫装置包括氮气供给装置和加热装置，氮气供给装置与进气管连接，加热装置设置在氮气供给装置上，加热后的氮气输入进气管内；粉尘去除装置包括驱动装置和刮刀，驱动装置与刮刀连接用于驱动刮刀运动，刮刀设置在进气管内。本申请氮气吹扫装置氮气吹扫装置对输出的氮气加热，制程废气侧向输入进气管时，上方的热氮气对制程废气进行吹扫，在高温的作用下，氯化铝粉末会尽可能呈气态进入燃烧腔处理。粉末去除装置的驱动装置带动刮刀运动，对凝固的氯化铝粉末进行刮除，有效避免了氯化铝粉末凝固且积聚在进气管的内侧壁上。

今年以来京仪装备新获得专利授权54个，较去年同期增加了25.58%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了7240.02万元，同比增61.93%。

通过天眼查大数据分析，北京京仪自动化装备技术股份有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目93次；财产线索方面有商标信息50条，专利信息499条，著作权信息55条；此外企业还拥有行政许可12个。

数据来源：天眼查APP

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装备信息京仪装置氮气导体粉末工艺专利金属铝进气管刮刀

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