国家知识产权局信息显示,苏州晶禧半导体科技有限公司申请一项名为“一种半导体晶圆表面缺陷检测设备及检测方法”的专利,公开号CN121027138A,申请日期为2025年8月。
专利摘要显示,本发明涉及晶圆检测技术领域,具体是涉及一种半导体晶圆表面缺陷检测设备及检测方法,包括检测壳和输送壳;在输送壳内设置有载台,在检测壳内设置有取件装置、摄像头、射灯、第一转动环、支架和第一驱动单元;取件装置设置在检测壳内并用于将载台上的半导体晶圆取出,以载台的移动方向为旋转轴线,取件装置能围绕所述旋转轴线转动且每次转动角度为180度;摄像头设置在取件装置一侧;射灯呈环形结构并围绕套设在摄像头的外围;第一转动环沿所述旋转轴线转动设置在检测壳内;支架固定设置在第一转动环上,摄像头设置在支架上;第一驱动单元设置在第一转动环的一侧。本发明提高了半导体晶圆双面检测的精度与可靠性。
天眼查资料显示,苏州晶禧半导体科技有限公司,成立于2022年,位于苏州市,是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本2470万人民币。通过天眼查大数据分析,苏州晶禧半导体科技有限公司参与招投标项目5次,此外企业还拥有行政许可8个。
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来源:市场资讯