北方华创微电子申请气体分配装置和半导体工艺腔室专利，解决装置本体内壁颗粒物附着较为严重的问题_电子百科

北方华创微电子申请气体分配装置和半导体工艺腔室专利，解决装置本体内壁颗粒物附着较为严重的问题

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2025-12-04 09:11:01

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国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“气体分配装置和半导体工艺腔室”的专利，公开号CN121046815A，申请日期为2024年5月。专利摘要显示，本发明公开一种气体分配装置和半导体工艺腔室，所述气体分配装置包括输气组件和装置本体，所述装置本体为环状结构，所述装置本体的第一端口的内径大于所述装置本体的第二端口的内径，所述第一端口与所述第二端口相背，在所述第二端口的中心至所述第一端口的中心方向上，所述内侧壁相对于所述装置本体的中心轴线倾斜延伸，所述第一端口用于与所述腔室本体连通，所述输气组件设于所述装置本体，且用于通过所述第一端口向所述腔室本体内输送气体。上述方案可以解决相关技术中的气体分配装置的装置本体的内壁存在颗粒物附着较为严重的问题。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1275次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。

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来源：市场资讯

气体颗粒物投资半导体华创装置本体端口微电子专利腔室

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