珠海屹芯半导体申请半导体晶圆湿法清洗用清洗液回收装置专利，便利对蒸发罐内部进行快速加热清理
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2025-05-30 20:33:47
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金融界2025年5月30日消息，国家知识产权局信息显示，珠海屹芯半导体有限公司申请一项名为“一种半导体晶圆湿法清洗用清洗液回收装置”的专利，公开号CN120054969A，申请日期为2025年03月。
专利摘要显示，本发明属于废水回收技术领域，且公开了一种半导体晶圆湿法清洗用清洗液回收装置，包括蒸发罐，固定设置在所述蒸发罐侧面的进料管，固定安装在所述蒸发罐底部的排出管，设置在所述排出管上的阀门以及固定设置在所述蒸发罐和冷凝罐外部的安装支架，还包括：冷凝罐，所述冷凝罐靠近蒸发罐的一侧固定连接有与蒸发罐相连通的传输管；清理机构，所述清理机构设置在蒸发罐的内部且用于对蒸发罐的内壁进行清理，通过设置加热器、刮板以及清理板等结构的配合，进而便利了对蒸发罐内部进行快速加热清理，解决了现有的清洗液回收装置在通过蒸馏进行杂质的去除回收时，容易导致蒸馏室内部残有大量杂质水垢，不易清理的问题。
天眼查资料显示，珠海屹芯半导体有限公司，成立于2021年，位于珠海市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本200万人民币。通过天眼查大数据分析，珠海屹芯半导体有限公司专利信息4条，此外企业还拥有行政许可8个。
来源：金融界
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