盛吉盛半导体申请带检测功能的基片支撑结构专利，可实现对支撑杆的位置检测
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2025-05-31 18:06:16
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金融界2025年5月31日消息，国家知识产权局信息显示，盛吉盛半导体科技（北京）有限公司申请一项名为“一种带检测功能的基片支撑结构”的专利，公开号CN120072709A，申请日期为2025年03月。
专利摘要显示，本发明公开一种带检测功能的基片支撑结构，属于半导体设备技术领域，包括有真空隔离筒，在真空隔离筒内设置有可移动的支撑杆，支撑杆的上部为支撑杆主体，支撑杆主体朝向腔室内部延伸，支撑杆的下部为支撑杆磁感应段，支撑杆磁感应段上具有内部磁性体；在真空隔离筒外设置有可移动的外部磁性体，外部磁性体与内部磁性体相对应吸附；支撑杆的底部具有反射面，真空隔离筒的底部具有真空窗，在真空隔离筒的真空窗外设置有位置检测传感器，位置检测传感器与反射面相对。
天眼查资料显示，盛吉盛半导体科技（北京）有限公司，成立于2021年，位于北京市，是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本28000万人民币。通过天眼查大数据分析，盛吉盛半导体科技（北京）有限公司参与招投标项目23次，专利信息115条，此外企业还拥有行政许可7个。
来源：金融界
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