浙江芯晟半导体申请MEMS谐振式压力传感器专利，具有较高的灵敏度
创始人
2025-05-15 22:08:51
0次
金融界2025年5月15日消息，国家知识产权局信息显示，浙江芯晟半导体科技有限责任公司申请一项名为“一种MEMS谐振式压力传感器及其制造方法”的专利，公开号CN119984576A，申请日期为2025年1月。
专利摘要显示，本发明涉及压力传感器技术领域。具体涉及一种MEMS谐振式压力传感器及其制造方法。本发明提供的MEMS谐振式压力传感器包括：基体层；基体层包括敏感膜；敏感膜适于将传感器被施加的压力转化为应力；中间层；中间层包括谐振子结构；谐振子结构通过锚区连接于敏感膜，适于将敏感膜转化的应力转化为自身的谐振运动；中间层还包括激励检测结构；激励检测结构设置于谐振子结构的侧部，适于激励谐振子结构的谐振运动并检测其谐振运动的频率，通过输出的电信号以计算传感器被施加的压力。其中，谐振子结构包括谐振梁和与谐振梁垂直且连接设置的固定梁；固定梁的一端连接于谐振梁的中点。
天眼查资料显示，浙江芯晟半导体科技有限责任公司，成立于2023年，位于嘉兴市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本150000万人民币。通过天眼查大数据分析，浙江芯晟半导体科技有限责任公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目166次，财产线索方面有商标信息4条，专利信息24条，此外企业还拥有行政许可7个。
来源：金融界
相关内容
热门资讯
多光谱无人机传感器在卫星验证和...
文章导读 随着光学卫星数据产品 (如Sentinel-2、PlanetScope和Landsat)...
瑞智（江西）电子材料有限公司成...
天眼查App显示，近日，瑞智（江西）电子材料有限公司成立，法定代表人为宗道琴，注册资本10000万人...
铜峰电子（600237）12月...
证券之星消息，截至2025年12月12日收盘，铜峰电子(600237)报收于8.99元，上涨10.0...
无锡市滨湖区奕多金电子商务商行...
天眼查App显示，近日，无锡市滨湖区奕多金电子商务商行（个体工商户）成立，法定代表人为周荣生，注册资...
呼伦贝尔市洪安达电子科技有限公...
天眼查App显示，近日，呼伦贝尔市洪安达电子科技有限公司成立，法定代表人为苏凤，注册资本30万人民币...
股票行情快报：弘景光电（301...
证券之星消息，截至2025年12月12日收盘，弘景光电(301479)报收于83.8元，上涨2.5%...
股票行情快报：金禄电子（301...
证券之星消息，截至2025年12月12日收盘，金禄电子(301282)报收于28.6元，下跌1.99...
股票行情快报：积成电子（002...
证券之星消息，截至2025年12月12日收盘，积成电子(002339)报收于8.87元，上涨2.31...
美股芯片巨头大跌，“带崩”科技...
北京时间12月12日，美股三大指数开盘走势分化。截至发稿，道指微涨，纳指、标普500指数小幅下跌。美...
科泰电源：生产经营情况正常，将...
有投资者在互动平台向科泰电源提问：“公司股价已经跌了4个月了，公司今年业绩有预期吗？公司目前定单情况...