金融界2025年6月14日消息,国家知识产权局信息显示,芯恩(青岛)集成电路有限公司申请一项名为“一种半导体设备及半导体工艺方法”的专利,公开号CN120138605A,申请日期为2023年12月。
专利摘要显示,本发明提供一种半导体设备及半导体工艺方法,方法包括:气体升华容器处于预设高压状态时,进入前驱体排压状态,气态前驱体从气体升华容器经第二传输管道从排出管道排出;进入清洁工艺腔室状态,气体从连接管道、后端管道和工艺传输管道排至工艺腔室,直到工艺腔室处于运行状态。
天眼查资料显示,芯恩(青岛)集成电路有限公司,成立于2018年,位于青岛市,是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1006720.789212万人民币。通过天眼查大数据分析,芯恩(青岛)集成电路有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目170次,财产线索方面有商标信息15条,专利信息704条,此外企业还拥有行政许可55个。
来源:金融界