芯恩（青岛）申请半导体设备及工艺方法专利，保证气体升华容器内蒸汽压稳定
创始人
2025-06-14 10:37:19
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金融界2025年6月14日消息，国家知识产权局信息显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司申请一项名为“一种半导体设备及半导体工艺方法”的专利，公开号CN120138605A，申请日期为2023年12月。
专利摘要显示，本发明提供一种半导体设备及半导体工艺方法，方法包括：气体升华容器处于预设高压状态时，进入前驱体排压状态，气态前驱体从气体升华容器经第二传输管道从排出管道排出；进入清洁工艺腔室状态，气体从连接管道、后端管道和工艺传输管道排至工艺腔室，直到工艺腔室处于运行状态。
天眼查资料显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司，成立于2018年，位于青岛市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1006720.789212万人民币。通过天眼查大数据分析，芯恩（青岛）集成电路有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目170次，财产线索方面有商标信息15条，专利信息704条，此外企业还拥有行政许可55个。
来源：金融界
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