奥卓真空取得基于CCP等离子技术半导体镀膜装置专利，能避免半导体单独清洗造成的二次污染
创始人
2025-07-11 13:10:32
0次
金融界2025年7月11日消息，国家知识产权局信息显示，奥卓真空设备技术（珠海）有限公司取得一项名为“一种基于CCP等离子技术的半导体镀膜装置”的专利，授权公告号CN223092814U，申请日期为2025年05月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种基于CCP等离子技术的半导体镀膜装置，属于半导体镀膜技术领域，包括箱体，所述箱体顶部的中部设置有液压缸，所述箱体一侧固定连接有侧板，所述侧板顶部设置有鼓风机，所述鼓风机顶部设置有出风管，所述鼓风机另一侧设置有进风管，所述箱体外壁的下部设置有驱动电机，所述箱体背门的下部固定连接有承载板，通过设置射频电源与电极板，实现了在对半导体进行镀膜前对半导体进行CCP等离子清洗，不但能够避免半导体单独清洗造成的二次污染，而且又能提高清洗效果，有利于提高半导体镀膜效果，也避免了半导体在放置过程中因半导体表面沾染污染，需要将半导体由镀膜装置内取出重新进行清洗，费时费力，也降低了镀膜效率。
天眼查资料显示，奥卓真空设备技术（珠海）有限公司，成立于2020年，位于珠海市，是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本2940.5万人民币。通过天眼查大数据分析，奥卓真空设备技术（珠海）有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目9次，专利信息21条，此外企业还拥有行政许可6个。
来源：金融界
上一篇：盛美半导体等取得炉管设备专利
相关内容
热门资讯
浙江昌飞科技取得滤波器专利，提...
国家知识产权局信息显示，浙江昌飞科技有限公司取得一项名为“一种滤波器”的专利，授权公告号CN2243...
欧姆龙取得电源固定装置专利，简...
国家知识产权局信息显示，欧姆龙（上海）有限公司取得一项名为“电源固定装置以及电源”的专利，授权公告号...
捷捷微电：相关MOS可应用于高...
证券之星消息，捷捷微电(300623)06月15日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。 投资者提...
盾安禾田取得阀连接结构专利，避...
国家知识产权局信息显示，浙江盾安禾田金属有限公司取得一项名为“阀连接结构”的专利，授权公告号CN22...
华芯智源申请放电末端SOC快速...
国家知识产权局信息显示，广东华芯智源科技有限公司申请一项名为“一种放电末端SOC快速校正方法、装置及...
沪硅产业：在300mm半导体硅...
沪硅产业在互动平台表示，公司在300mm 半导体硅片领域持续突破，已在技术上实现面向逻辑、存储、图像...
龙头IPO过会+算力高景气提振...
截至收盘，中证云计算与大数据主题指数上涨2.4%，中证芯片产业指数上涨4.2%，中证半导体材料设备主...
海翔药业：寓鑫基金投资涉及芯片...
有投资者在互动平台向海翔药业提问：“贵司的投资基金有没有涉及芯片半导体相关企业？” 针对上述提问，海...
深夜，全线拉升！利好突袭，芯片...
芯片股继续大涨。 当地时间6月18日，美股三大指数集体高开，截至发稿，道指涨0.62%，纳指涨0.8...
科创50ETF鹏华(58804...
芯片设计概念持续活跃，寒武纪涨超10%创历史新高，总市值超9200亿，消息面上，截至今年3月底，我国...