无锡华瑛微电子申请半导体处理装置专利，实现对半导体晶圆的外缘的处理
创始人
2025-07-16 19:10:14
0次

金融界2025年7月16日消息，国家知识产权局信息显示，无锡华瑛微电子技术有限公司申请一项名为“半导体处理装置”的专利，公开号CN120319719A，申请日期为2021年09月。

专利摘要显示，本发明提供了一种半导体处理装置，其包括：第一腔室部；第二腔室部。第一腔室部具有第一槽道，第二腔室部具有第二槽道，在第二腔室部相对于第一腔室部位于关闭位置且微腔室内容纳有半导体晶圆时，第一槽道和第二槽道连通并在晶圆边缘处共同形成边缘微处理空间，容纳于微腔室内的半导体晶圆的外缘伸入边缘微处理空间。第一腔室部上具有位于第一槽道外侧的密封接合部，第二腔室部上具有与密封接合部对应的接合凹槽借助边缘微处理空间，本发明能够实现对半导体晶圆的外缘的处理。

天眼查资料显示，无锡华瑛微电子技术有限公司，成立于2008年，位于无锡市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本1663.856万人民币。通过天眼查大数据分析，无锡华瑛微电子技术有限公司参与招投标项目32次，财产线索方面有商标信息2条，专利信息144条，此外企业还拥有行政许可13个。

来源：金融界

显示 信息 装置 处理 外缘 导体 微电子 无锡 边缘 专利 半导体 晶圆 密封接合部 室部

上一篇：HuntKey航嘉2000W白金牌服务器电源拆解：采用PCB金手指连接供电，内置散热风扇

下一篇：浙江晶泰半导体取得单晶炉用下测温坩埚升降装置专利，有效提高降温效果

相关内容

超级电容板块9月10日跌1...
证券之星消息，9月10日超级电容板块较上一交易日下跌1.31%，瑞...
2025-09-10 17:31:22
中鼎股份：研发中心已装修完...
证券之星消息，中鼎股份(000887)09月10日在投资者关系平台...
2025-09-10 17:31:20
金禄电子(301282.S...
格隆汇9月10日丨金禄电子(301282.SZ)在投资者互动平台表...
2025-09-10 17:02:35
电连技术：相关产品可应用于...
证券之星消息，电连技术(300679)09月09日在投资者关系平台...
2025-09-10 17:02:33
【传感器技术】热电式传感器...
热电式传感器原理 常见的温度传感器： 热电阻、热敏电阻、热电偶、...
2025-09-10 17:02:11
鼎汉技术中标：北京局集团公...
证券之星消息，根据天眼查APP-财产线索数据整理，根据中国铁路北京...
2025-09-10 16:02:32
南都电源：9月9日融券卖出...
证券之星消息，9月9日，南都电源（300068）融资买入3.53亿...
2025-09-10 16:02:17
从照料中心到“老年乐园” ...
中新网晋中9月10日电 题：从照料中心到“老年乐园” 山西晋中嵌入...
2025-09-10 15:31:27
电源负载柜
电源负载柜 电源负载柜 概述：根据GB2099、GB16915、G...
2025-09-10 15:31:26

热门资讯

电连技术：相关产品可应用于传感... 证券之星消息，电连技术(300679)09月09日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。 投资者提...
新光光电（688011）9月9... 证券之星消息，截至2025年9月9日收盘，新光光电(688011)报收于35.95元，上涨3.01%...
A股午前拉升，半导体概念股领涨... 每经编辑：叶峰 A股早盘冲高回落后，午前再度走强，科创板表现强势，科创板50ETF（588080）标...
原创 手... 大家在使用手机的时候，有没有发现，很多时候，我们的手机，明明没有怎么使用，可是当我们查看手机电量时，...
【ETF动向】9月9日鹏华国证... 证券之星消息，9月9日，鹏华国证半导体芯片ETF基金（159813）跌2.84%，成交额4.83亿元...
融资榜丨居同类基金首位！半导体... 9月9日，半导体设备ETF（159516）报收1.18元，收跌2.96%，成交金额1.83亿元。获融...
资金榜丨居同类基金首位！半导体... 9月9日，半导体设备ETF（159516）报收1.18元，收跌2.96%，成交金额1.83亿元。净流...
原创 他... 在泰国的政治舞台上，旋涡般的局势再次被推向风口浪尖。最近，他信·西那瓦——这位饱受争议的前总理，一朝...
iPhone16降价，苹果官网... 9月10日凌晨1点，2025苹果秋季新品发布会发布iPhone17系列。 发布会后苹果官网下调iPh...
原创 莫... 在全球政治舞台上，近期的金砖峰会无疑成为了一个引人注目的焦点。令人意外的是，印度总理莫迪在这一重要会...