物元半导体申请半导体制造方法及半导体结构专利，避免表面出现凹陷等缺陷
创始人
2025-05-18 13:06:56
0次
金融界 2025 年 4 月 26 日消息，国家知识产权局信息显示，物元半导体技术（青岛）有限公司申请一项名为“半导体制造方法及半导体结构”的专利，公开号 CN119864322A，申请日期为 2025 年 3 月。
专利摘要显示，本发明涉及一种半导体制造方法及半导体结构，属于半导体技术领域。半导体制造方法包括以下步骤：提供第一半导体衬底；在第一半导体衬底之上形成第一介电层；对第一介电层进行图形化以形成第一沟槽；在第一介电层之上沉积金属，以形成填充于第一沟槽内的金属填充部，以及高于第一介电层顶部所在平面的金属覆盖层；执行平坦化工艺以移除金属覆盖层，并使金属填充部的顶部与第一介电层的顶部齐平；形成覆盖在第一介电层和金属填充部之上的第一硬掩模层。通过对制造工艺进行优化，避免了表面出现凹陷等缺陷，同时降低了由于热膨胀不匹配而造成开裂的风险，提高了半导体器件的可靠性。
天眼查资料显示，物元半导体技术（青岛）有限公司，成立于2022年，位于青岛市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本45000万人民币。通过天眼查大数据分析，物元半导体技术（青岛）有限公司参与招投标项目1次，专利信息78条，此外企业还拥有行政许可10个。
来源：金融界
相关内容
热门资讯
新疆上空“不明飞行物”是啥？当...
新疆上空“不明飞行物”是啥？当地气象局、科普博主解秘｜封面头条 封面新闻记者 吴冰清 近日，新疆上...
浙江官宣：蒋移祥被查
浙江省纪委省监委网站5月17日消息， 浙江省盐业集团有限公司原党委书记、董事长蒋移祥涉嫌严重违纪违法...
奥海科技：公司服务器电源、算力...
奥海科技2月25日在互动平台表示，目前公司服务器电源、算力电源、服务器PDB电源等产品已实现批量出货...
亨斯迈（杭州）电力技术有限公司...
金融界2025年5月1日消息，国家知识产权局信息显示，亨斯迈（杭州）电力技术有限公司取得一项名为“一...
触目惊心的数字哈兰德加盟曼城3...
直播吧05月18日讯 足总杯决赛，曼城0-1不敌水晶宫，哈兰德打满全场未能斩获进球，让出一粒点球但队...
舍弗勒技术股份两合公司申请用于...
金融界2025年4月21日消息，国家知识产权局信息显示，舍弗勒技术股份两合公司申请一项名为“用于诊断...
知名男星定居上海！曾是一夜爆红...
说到偶像剧里的“霸道总裁”，你第一个会想到谁？ 有这样一个名字当年只要看过偶像剧的一定都知道！ 那几...
甘肃酒钢集团宏兴取得同步启闭接...
金融界2025年3月10日消息，国家知识产权局信息显示，甘肃酒钢集团宏兴钢铁股份有限公司取得一项名为...
物元半导体申请半导体制造方法及...
金融界 2025 年 4 月 26 日消息，国家知识产权局信息显示，物元半导体技术（青岛）有限公司申...
鸿扬半导体申请半导体装置与其制...
金融界2025年4月2日消息，国家知识产权局信息显示，鸿扬半导体股份有限公司申请一项名为“半导体装置...