南亚科技申请包含切割结构的半导体元件的制备方法专利，提供一种半导体元件的制备方法
创始人
2025-05-20 15:07:01
0次
金融界2025年5月20日消息，国家知识产权局信息显示，南亚科技股份有限公司申请一项名为“包含切割结构的半导体元件的制备方法”的专利，公开号CN120015742A，申请日期为2024年02月。
专利摘要显示，提供一种半导体元件的制备方法，包括形成隔离层在基底中以界定预切割区域，形成下图案层在基底上，以及形成中间图案图层在下图案图层上；使用主要遮罩层图案化下图案层和中间图案层，形成第一下图案层及第一中间图案层，其暴露出预切割区域；形成上图案图层以覆盖主要下图案图层、主要中间图案图层以及预切割区域；使用次要遮罩层图案化上图案层，得到主要上图案层，其包括至少二第一类型空间以及第二类型空间；以及加深第一类型空间以形成至少二第一类型凹陷在预切割区域中，并形成至少二切割结构在第一类型凹陷中。第一倾斜方向与第二倾斜方向相交，并且由相邻的一对切割结构在预切割区域内界定主动区。
来源：金融界
相关内容
热门资讯
哈啰普惠申请嵌入式设备升级方法...
国家知识产权局信息显示，上海哈啰普惠科技有限公司、上海造父智能科技有限公司申请一项名为“嵌入式设备的...
时代电气招标结果：DC-DC电...
证券之星消息，根据天眼查APP-财产线索数据整理，株洲中车时代电气股份有限公司5月29日发布《DC-...
全志科技(300458.SZ)...
格隆汇6月1日丨全志科技(300458.SZ)在互动平台表示，公司目前不涉及AI电源的业务。
智慧创芯申请基于SoC芯片的高...
国家知识产权局信息显示，深圳市智慧创芯电子有限公司申请一项名为“基于SoC芯片的高效电源转换与管理系...
半导体ETF国联安：6月1日融...
证券之星消息，6月1日，半导体ETF国联安（512480）融资买入1.15亿元，融资偿还1.14亿元...
伊顿智能动力申请开关装置及用于...
国家知识产权局信息显示，伊顿智能动力有限公司申请一项名为“开关装置及用于操作开关装置的方法”的专利，...
OPPO取得射频收发电路专利可...
国家知识产权局信息显示，OPPO广东移动通信有限公司取得一项名为“射频收发电路、通信设备和无线通信方...
华润微集成电路申请驱动控制保护...
国家知识产权局信息显示，华润微集成电路（无锡）有限公司申请一项名为“驱动控制保护电路及电子产品”的专...
金卡智能：公司没有超级电容相关...
证券之星消息，金卡智能(300349)06月01日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。 投资者提...
烨映微电子申请高可靠性硅电容制...
国家知识产权局信息显示，上海烨映微电子科技股份有限公司申请一项名为“一种高可靠性硅电容的制作方法”的...