北方华创申请用于半导体热处理设备的回转机构及半导体热处理设备专利，可保证配合关系的稳定性
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2025-05-20 15:07:02
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金融界2025年5月20日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“用于半导体热处理设备的回转机构及半导体热处理设备”的专利，公开号CN120015687A，申请日期为2023年11月。
专利摘要显示，本发明提供一种用于半导体热处理设备的回转机构及半导体热处理设备，半导体热处理设备还包括晶舟，回转机构包括：支撑部，用于承载晶舟，支撑部具有第一限位部；驱动轴，用于驱动支撑部转动，驱动轴具有第二限位部，第一限位部与第二限位部可拆卸地插接配合，第一限位部与第二限位部的插接配合用于实现在周向上的驱动配合；止动件，同时与支撑部、驱动轴插接配合，以限制第一限位部与第二限位部脱离插接配合的位置。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1042次，财产线索方面有商标信息66条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
来源：金融界
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