交流协作丨盖泽联合复旦学术团队,对半导体量测技术展开深入合作!
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2025-10-07 01:34:33
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2025年8月21日,复旦大学信息科学与工程学院陈涛教授携学生团队莅临盖泽总部开展访学交流。盖泽总经理率管理层及技术骨干全程陪同,双方通过实地参观与交流分享,深入探讨光学技术前沿趋势、行业动态及未来合作方向。

陈涛教授2012年获新加坡南洋理工大学博士学位,曾在新加坡智能机器人实验室、新加坡信息通信研究所、华为新加坡研究中心等顶尖研究机构任职。2018年入选国家高层次海外人才计划,担任复旦大学终身教职教授。现为嵌入式视觉实验室首席研究员,带领团队专注于光深视觉模型设计、多模态视觉分析以及边缘设备感知视觉应用。

座谈会上,双方围绕光学与视觉在半导体行业的应用展开讨论,梳理了二者在半导体量测领域中的应用,并结合半导体行业的发展趋势,就未来的创新方向提出了专业见解。随后,双方就半导体FTIR膜厚量测、元素浓度测量、椭偏膜厚量测等技术在晶圆前道量测过程中的要点进行了深入交流,并对潜在合作领域与框架进行了坦诚探讨。

座谈会后,领导陪同陈涛教授团队参观公司,仔细观看了展厅、生产车间区等各个板块,并介绍了盖泽通过持续深耕光学领域,依托自主创新,将自研光学技术融入半导体量测设备,助力国内晶圆厂、Fab厂实现国产化替代的发展历程,以及盖泽未来的战略蓝图。

参观过程中领导还向陈涛教授团队介绍了盖泽依托自主研发的光学技术打造的IR系列晶圆外延层膜厚测量设备,并且为其详细解释了该设备的技术原理及优势。

通过此次复旦大学陈涛教授团队来我司交流协作,让盖泽和复旦之间搭建了一座紧密沟通的桥梁,既为盖泽后续的技术创新开辟了更多可能,也为双方在半导体智能制造领域的深度合作注入了新的动力与信心。

盖泽也将借此次交流为契机,依托自身创新优势,融合高校科研力量,持续深耕半导体前道量测领域,为中国半导体产业的长足发展贡献力量。

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