备受资本市场关注的半导体设备核心零部件龙头企业深圳市恒运昌真空技术股份有限公司（简称“恒运昌”），即将迎来科创板上市关键节点。

上交所信息显示，恒运昌IPO将于11月14日上会审核，有望成为国产半导体核心部件领域的又一资本标杆。作为打破海外垄断、实现高端产品国产化的“隐形冠军”，恒运昌凭借技术自主可控、市场地位领先、业绩高速增长的核心优势，其投资价值正逐步被市场认可。

打破海外垄断 自主创新筑牢竞争壁垒

半导体等离子体射频电源系统被誉为半导体制程设备的“心脏”，直接决定芯片制造的工艺精度与产品良率，长期以来被美系巨头MKS和AE垄断，国产化率不足12%，是半导体设备国产化的“卡脖子”环节之一。恒运昌历经十余年技术攻关，走出了一条从底层技术构建到产品迭代突破的自主创新之路，成功打破海外垄断格局。

恒运昌构建了涵盖信号采样及处理、相位锁定、同步控制等关键技术的自主体系，形成三大基石技术和八大产品化支撑技术，核心技术完全自主可控。截至2025年6月30日，恒运昌累计获得261项授权专利，其中发明专利108项，另有133项发明专利在申请中，同时承担工信部、科技部三项国家级重大科研课题，技术实力获国家层面认可。

在国产化浪潮与自身技术优势的双重驱动下，恒运昌已确立行业领先地位。根据弗若斯特沙利文统计，2024年公司在中国大陆半导体行业国产等离子体射频电源系统厂商中市场份额位列第一，成为国产替代的核心力量。

客户资源方面，恒运昌已与拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米、盛美上海等国内头部半导体设备商建立紧密的战略合作关系，成为薄膜沉积、刻蚀等关键环节的核心供应商，客户黏性极强。

业绩高速增长态势强劲 盈利质量持续优化

技术优势与市场需求的共振，推动恒运昌业绩实现爆发式增长。招股书显示，2022年至2024年，公司营业收入从1.58亿元增长至5.41亿元；扣非归母净利润从0.20亿元增长至1.29亿元，展现出强劲的成长潜力。2025年上半年，恒运昌实现营收3.04亿元、净利0.69亿元，为全年业绩奠定坚实基础。

在收入规模快速扩张的同时，公司盈利质量持续优化。2022年至2025年上半年，主营业务毛利率分别为41.49%、45.86%、48.51%及49.01%，呈现逐年稳步提升态势，主要得益于高毛利率自研产品销售占比的持续提高。截至2024年，公司自研产品收入已达4.56亿元，占主营业务收入的84.34%，其中等离子体射频电源系统收入占比93.32%，核心产品的盈利能力凸显。

募投聚焦产能与研发 卡位行业增长红利

此次IPO恒运昌募投项目将聚焦产能扩张与技术攻坚，重点投入产业化基地建设、研发中心升级、技术支持中心及补充流动资金，精准卡位半导体行业增长红利。

随着全球电子制造业向发展中国家和地区转移，中国大陆半导体行业保持较快发展。根据Wind数据统计，中国大陆半导体行业市场规模从2015年的1092亿美元增长至2024年的1819亿美元，复合增长率为5.84%，2024年中国大陆半导体行业市场规模约占全球半导体行业市场规模三分之一。半导体设备行业在下游快速发展的推动下，保持快速增长。

恒运昌表示，募投项目的实施有利于公司扩大生产规模、加强研发投入、提升客户支持服务能力和扩充资本实力，进一步巩固公司在半导体级等离子体射频电源系统领域的领先地位，并继续助力先进制程半导体设备关键零部件的国产化进程。

业内人士指出，半导体设备核心零部件国产化是国家战略重点方向，政策支持与市场需求形成强大合力，行业成长空间广阔。恒运昌作为国产等离子体射频电源系统的领军企业，凭借技术自主可控、市场地位领先、业绩高速增长的核心竞争力，以及清晰的产能扩张与技术升级规划，其科创板上市将为公司发展注入新的动力，也为投资者提供了分享半导体国产化红利的优质标的。随着上会临近，市场对这家“隐形冠军”的资本之路充满期待。