中微半导体申请等离子体处理装置及其刻蚀方法专利，可实现对工艺过程的精确控制
创始人
2025-05-22 16:06:47
0次
金融界2025年5月22日消息，国家知识产权局信息显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司申请一项名为“一种等离子体处理装置及其刻蚀方法”的专利，公开号CN120020996A，申请日期为2023年11月。
专利摘要显示，本发明公开了一种等离子体处理装置及其刻蚀方法，该等离子体处理装置包含一真空反应腔，所述真空反应腔内包含：下电极，其包含用于承载基片的承载面；上电极，其与下电极相对设置，所述上电极具有向腔内引入工艺气体的气体喷淋头，上电极与下电极之间形成反应区域；磁场元件，其环绕反应区域设置，所述磁场元件被配置为产生磁场以调节反应区域中的带电粒子，其中，所述磁场包含垂直于承载面的磁场和倾斜于气体喷淋头的下表面的发散性磁场。
天眼查资料显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司，成立于2004年，位于上海市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本62236.3735万人民币。通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了27家企业，参与招投标项目64次，财产线索方面有商标信息75条，专利信息1507条，此外企业还拥有行政许可71个。
来源：金融界
相关内容
热门资讯
华虹半导体（01347.HK）...
证券之星消息，12月17日南向资金减持819.97万股华虹半导体（01347.HK）。近5个交易日中...
存储芯片概念局部异动，开普云2...
钛媒体App 12月17日消息，存储芯片概念局部异动，开普云20cm涨停，华润微、香农芯创、普冉股份...
股票行情快报：雅创电子（301...
证券之星消息，截至2025年12月17日收盘，雅创电子(301099)报收于41.43元，上涨1.8...
核工业西南物理研究院牵头联合体...
据核工业西南物理研究院消息，12月15日，由核工业西南物理研究院牵头，荣信汇科电气股份有限公司、中国...
2025电子测量行业优质示波器...
《2025-2029年中国示波器市场深度调研与投资前景分析报告》显示，2025年中国示波器市场规模达...
股票行情快报：亚华电子（301...
证券之星消息，截至2025年12月17日收盘，亚华电子(301337)报收于26.72元，上涨0.3...
每日并购资讯 | TCL华星拟...
易界，置顶公众号 专业的并购市场资讯及行业新闻，不容错过 ━━━━━━ 境内 TCL华星拟60.45...
谷歌正与Meta合作，扩大对A...
据报道，谷歌正与Meta Platform合作，扩大对AI芯片的软件支持。
万隆光电：12月17日召开董事...
每经AI快讯，万隆光电（SZ 300710，收盘价：25.73元）12月17日晚间发布公告称，公司第...
原创 日...
台海风波尚未平息，日本又开始在钓鱼岛蠢蠢欲动，前首相岸田文雄抛出“B计划”，试图深度捆绑美国。特朗普...