日月光半导体取得层架结构专利,提高制程良率及效率
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2025-05-23 14:34:20
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金融界2025年5月23日消息,国家知识产权局信息显示,日月光半导体制造股份有限公司取得一项名为“层架结构”的专利,授权公告号CN222896678U,申请日期为2024年07月。

专利摘要显示,本实用新型提供了一种层架结构,适用于在电浆清洗时支撑产品,包括:温度控制组,包括:电极板;第一隔离板,架设在电极板下方;调温元件,架设在第一隔离板下方;第二隔离板,架设在电极板上方,第二隔离板用于承载产品;导轨架,架设在温度控制组的外侧,导轨架具有多个嵌槽;多个固定件,具有与嵌槽的形状相嵌合的凸部,固定件通过凸部设置于导轨架上;多个导条,设置于固定件并且用以在第二隔离板上方夹置产品,多个嵌槽彼此之间具有多个距离,用于随产品的尺寸变化调整导条之间的距离。

来源:金融界

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