江苏鑫华半导体申请电子级多晶硅生产用三氯氢硅提纯系统和方法专利,提高三氯氢硅纯度
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2026-01-12 11:10:32
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国家知识产权局信息显示,江苏鑫华半导体科技股份有限公司申请一项名为“电子级多晶硅生产用三氯氢硅提纯系统和方法”的专利,公开号CN121288331A,申请日期为2025年10月。

专利摘要显示,本申请属于半导体技术领域,具体涉及电子级多晶硅生产用三氯氢硅提纯系统和方法,三氯氢硅提纯系统包括:粗分精馏塔,用于去除氢化来料中的第一轻组分和第一重组分,得到第一混合物,所述第一混合物包括三氯氢硅、四氯化硅和甲基二氯氢硅;一级精馏塔,与所述粗分精馏塔相连,用于分离所述第一混合物中的三氯氢硅,得到三氯氢硅粗品和第二混合物,所述第二混合物包括四氯化硅和甲基二氯氢硅;精制单元,与所述一级精馏塔相连,用于对所述三氯氢硅粗品进行精制精馏,得到纯化三氯氢硅。该系统借助四氯化硅与甲基二氯氢硅的相互作用,将甲基二氯氢硅富集在四氯化硅中,避免三氯氢硅较大的切除量,同时降低三氯氢硅质量波动,提高三氯氢硅纯度。

天眼查资料显示,江苏鑫华半导体科技股份有限公司,成立于2015年,位于徐州市,是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本148571.4288万人民币。通过天眼查大数据分析,江苏鑫华半导体科技股份有限公司共对外投资了8家企业,参与招投标项目124次,财产线索方面有商标信息15条,专利信息213条,此外企业还拥有行政许可51个。

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来源:市场资讯

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