芯源微电子申请液处理器件及液处理方法专利，提高产能
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2026-01-17 15:37:19
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国家知识产权局信息显示，沈阳芯源微电子设备股份有限公司申请一项名为“液处理器件及液处理方法”的专利，公开号CN121335457A，申请日期为2025年10月。
专利摘要显示，本申请提供了一种液处理器件及液处理方法，涉及半导体制造技术领域。包括底板、杯体、喷液组件、驱动机构；驱动机构包括摆臂、第一驱动器和第二驱动器，第一驱动器设置在底板上，第二驱动器与第一驱动器连接，摆臂的一端与第二驱动器的旋转轴连接，摆臂的另一端为夹持端，第一驱动器用和第二驱动器用于带动摆臂旋转和升降；多个杯体均匀环绕于旋转轴，每个杯体的中心与旋转轴的距离与摆臂的长度相等，杯体用于固定并承载晶圆；喷液组件位于相邻杯体之间，包括多个喷嘴，喷嘴到旋转轴的距离与摆臂长度相等，用于被夹持端夹持并转移至杯体上方对晶圆喷涂液体。本申请能够节省空间占用、减少成本消耗、控制难度低且动作效率高、提高产能。
天眼查资料显示，沈阳芯源微电子设备股份有限公司，成立于2002年，位于沈阳市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本20162.7296万人民币。通过天眼查大数据分析，沈阳芯源微电子设备股份有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目329次，财产线索方面有商标信息32条，专利信息650条，此外企业还拥有行政许可67个。
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来源：市场资讯
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