南亚科技申请电容器及其制造方法专利，可减少因较薄的顶部电极层和较小的电容器临界尺寸而导致的漏电问题
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2025-05-24 09:08:54
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金融界2025年5月24日消息，国家知识产权局信息显示，南亚科技股份有限公司申请一项名为“电容器及其制造方法”的专利，公开号CN120035377A，申请日期为2024年03月。
专利摘要显示，本揭露是有关于一种电容器的制造方法。电容器的制造方法包含形成底部电极层、在底部电极层上形成绝缘层、使绝缘层结晶、以及在结晶后的绝缘层上形成顶部电极层。含有氮氧化钛的氧化物扩散阻挡层设置在顶部电极层和绝缘层之间。由于氧化物扩散阻挡层中的氧浓度远高于顶部电极层，因此氧化物扩散阻挡层中的氧化物原子难以扩散到顶部电极层。如此，可减少因较薄的顶部电极层和较小的电容器临界尺寸而导致的漏电问题。底部电极层包含氮化硅钛，具有较高的机械强度，降低了电容器塌陷的可能性，使电容器的电性表现不会受到塌陷问题的影响。
来源：金融界
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