中芯国际取得静电吸盘及半导体处理机台专利，提高半导体封装良率
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2026-02-07 16:14:42
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国家知识产权局信息显示，中芯国际集成电路制造（上海）有限公司取得一项名为“一种静电吸盘及半导体处理机台”的专利，授权公告号CN223885619U，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本实用新型涉及半导体制备工艺领域，特别涉及一种静电吸盘及半导体处理机台。静电吸盘包括基板和电极，基板用于承载待吸附物；基板开设有至少一个通孔；电极分布于基板的上方，与基板至少部分区域接触，电极用于产生静电吸力，以将待吸附物吸附固定于基板上；电极将基板划分为多个单位承载区域，每个单位承载区域对应的电极与基板之间具有预设形状间隔，预设形状间隔与通孔之间形成气流通道，用于为工艺气体提供流动路径，以使工艺气体沿流动路径在基板与待吸附物之间流动。本实用新型的静电吸盘既能避免静电吸盘对晶圆的划伤，又能改善晶圆散热能力，提高半导体封装良率。
天眼查资料显示，中芯国际集成电路制造（上海）有限公司，成立于2000年，位于上海市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本244000万美元。通过天眼查大数据分析，中芯国际集成电路制造（上海）有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目129次，财产线索方面有商标信息150条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可446个。
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来源：市场资讯
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