北方华创申请射频输出装置及半导体工艺设备专利，避免了IMD反射对射频源的影响
创始人
2026-03-07 10:48:33
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国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“一种射频输出装置及半导体工艺设备”的专利，公开号CN121617888A，申请日期为2024年8月。
专利摘要显示，本申请涉及涉及等离子体刻蚀技术领域，提供一种射频输出装置及半导体工艺设备，所述装置包括射频源，所述射频源用于输出射频信号；滤波器，用于对反射到射频源的干扰进行滤波；变频电路，通过所述滤波器与所述射频源连接，用于调节所述射频频率使得调节后的频率位于所述滤波器的通带滤波范围之外。通过设置变频电路，可实现对射频源输出频率的调节，从而使得等离子体IMD的反射功率在频域上移出射频源对应的滤波器的滤波通带窗口，避免了IMD反射对射频源的影响。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1391次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
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来源：市场资讯
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