国家知识产权局信息显示,上海光通信有限公司申请一项名为“一种探测装置及刻蚀设备”的专利,公开号CN121793724A,申请日期为2024年9月。
专利摘要显示,本申请提供一种探测装置及刻蚀设备,涉及半导体技术领域,以解决传感器温度监测不准确的问题。所述探测装置包括:传感器、限位结构以及用于与测量孔配合的弹性固定件;其中,所述限位结构和所述弹性固定件沿着所述传感器的延伸方向依次套设在所述传感器上,所述弹性固定件远离所述限位结构的一端固定在所述传感器上,所述限位结构用于将所述弹性固定件压入测量孔内,以及将所述弹性固定件锁定在测量孔内。所述刻蚀设备包括上述技术方案所提的探测装置。本申请提供的探测装置用于监测刻蚀设备的腔室内的温度。
天眼查资料显示,上海光通信有限公司,成立于1988年,位于上海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2038786.497万人民币。通过天眼查大数据分析,上海光通信有限公司共对外投资了8家企业,参与招投标项目52次,财产线索方面有商标信息12条,专利信息79条,此外企业还拥有行政许可182个。
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