国家知识产权局信息显示,上海功成半导体科技有限公司申请一项名为“一种屏蔽栅沟槽MOSFET器件及其制备方法”的专利,公开号CN121815691A,申请日期为2025年11月。
专利摘要显示,本发明提供一种屏蔽栅沟槽MOSFET器件及其制备方法,通过在层间介质层中形成形状为长条连续型,交替排布且横向宽度不同的第一接触孔和第二接触孔,其中,第二接触孔的横向宽度大于第一接触孔,第二接触孔所在元胞的沟道区域离子浓度较高,因而阈值电压较高;第一接触孔所在元胞的沟道离子浓度低,因而阈值电压较低,使得MOS器件工作时,低阈值电压元胞的沟道先开启导电,高阈值电压元胞的沟道后开启导电,而上述分时开启机制使得后开启的元胞能作为散热通道,为先开启的元胞分散热量,从而显著提升器件的安全工作区(SOA)和散热能力,且仅需调整接触孔掩膜版图的形状,无需增加额外工艺步骤,以极低的成本实现了MOS器件的可靠性和应用范围的提高。
天眼查资料显示,上海功成半导体科技有限公司,成立于2018年,位于上海市,是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本1414.9831万人民币。通过天眼查大数据分析,上海功成半导体科技有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目3次,财产线索方面有商标信息39条,专利信息142条,此外企业还拥有行政许可6个。
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