金融界2025年5月28日消息,国家知识产权局信息显示,深圳市新凯来工业机器有限公司申请一项名为“清洗组件和半导体设备”的专利,公开号CN120038176A,申请日期为2025年02月。
专利摘要显示,一种清洗组件和半导体设备,涉及半导体工艺设备技术领域。清洗组件包括顶罩、风扇和钟罩;所述顶罩和所述钟罩围合形成散热腔,所述顶罩设置有进气孔,所述风扇内的风扇通道和所述进气孔连通形成进风通道,所述进风通道和所述散热腔连通,所述风扇工作时驱动空气通过所述进风通道进入所述散热腔内;所述进风通道的出风口为第一出风口,所述第一出风口朝向所述钟罩,所述第一出风口的面积与所述钟罩朝向所述风扇方向的投影面积的比例在10%至20%范围内。本申请通过设置第一出风口,有利于气流在散热腔内的流通,并减小钟罩顶部区域的气流死区,降低钟罩顶部区域的温度。
天眼查资料显示,深圳市新凯来工业机器有限公司,成立于2022年,位于深圳市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本106584.4444万人民币。通过天眼查大数据分析,深圳市新凯来工业机器有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目7次,财产线索方面有商标信息20条,专利信息96条,此外企业还拥有行政许可11个。
来源:金融界