日照照芯半导体取得化学机械抛光用输料装置专利，可避免晶圆表面部分位置抛光剂含量不足
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2025-05-29 18:03:44
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金融界2025年5月29日消息，国家知识产权局信息显示，日照照芯半导体科技有限公司取得一项名为“一种化学机械抛光用输料装置”的专利，授权公告号CN222903654U，申请日期为2024年08月。
专利摘要显示，本实用新型涉及抛光剂输料技术领域，具体涉及一种化学机械抛光用输料装置，包括输料筒以及底板，输料筒以及底板中间转动设置有直转管，直转管的底端连接有直喷嘴，底板外周侧壁环形滑动设置有U型定位架，直转管周侧壁连接有侧转管，侧转管另一端通过软管可拆卸连接有定位管，定位管转动设置于U型定位架内，定位管底端连接有活动喷嘴。本实用新型在带动活动喷嘴在晶圆四周进行360度的全方位抛光剂输料操作的前提下，使得活动喷嘴可以对抛光剂进行多角度的喷出输料操作，从而在一些较大的晶圆表面进行多方位多角度的抛光剂喷出输料操作，避免直喷嘴输料抛光剂需要等待流动时间以及抛光剂流动缓慢造成晶圆表面部分位置抛光剂含量不足等问题。
天眼查资料显示，日照照芯半导体科技有限公司，成立于2023年，位于日照市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，日照照芯半导体科技有限公司参与招投标项目5次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息5条，此外企业还拥有行政许可4个。
来源：金融界
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